Caratterizzazione della superficie di array di nanofili di silicio

Tamburi, Marco (2013) Caratterizzazione della superficie di array di nanofili di silicio. [Laurea], Università di Bologna, Corso di Studio in Fisica [L-DM270]
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Abstract

Nel primo capitolo viene introdotto lo studio eff�ettuato e descritto un metodo di misure successivo alla caratterizzazione della super�ficie. Nel secondo capitolo vengono descritti i campioni analizzati e, nello speci�fico, la crescita attraverso MaCE dei nanofi�li di silicio. Nel terzo capitolo viene descritto lo strumento AFM utilizzato e la teoria della caratterizzazione alla base dello studio condotto. Nella quarta sezione vengono descritti i risultati ottenuti mentre nelle conclusioni viene tratto il risultato dei valori ottenuti di RMS roughness e roughness exponent.

Abstract
Tipologia del documento
Tesi di laurea (Laurea)
Autore della tesi
Tamburi, Marco
Relatore della tesi
Scuola
Corso di studio
Ordinamento Cds
DM270
Parole chiave
nanofili, silicio, array, MaCE, metal-assisted chemical etching, roughness, RMS, root mean square, celle solari, superficie, caratterizzazione, AFM, Atomic Force Microscopy, lunghezza di correlazione, self-affine, HHCF, height-height correlation function
Data di discussione della Tesi
25 Ottobre 2013
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