Tecnologia MEMS applicata ai sensori inerziali

Negli ultimi decenni la tecnologia dei sistemi micro-elettro-meccanici (MEMS) ha subito un rapido e costante sviluppo, portando alla realizzazione di una vasta gamma di sensori facilmente reperibili sul mercato. Si tratta di dispositivi altamente miniaturizzati, prodotti in massa e a costi relativamente contenuti, aspetti che li contraddistinguono dagli omologhi predecessori. In questa tesi vengono analizzati in dettaglio i sensori di accelerazione (accelerometri) e di velocità angolare (giroscopi), ponendo particolarmente in risalto i metodi di trasduzione adottati, le diversità nei design esistenti e le caratteristiche di performance. Inoltre, una breve ma attenta discussione preliminare a carattere storico guiderà il lettore attraverso le principali pietre miliari dell’evoluzione dei sensori inerziali MEMS, concludendo con una descrizione dello stato dell’arte della tecnologia. L’intero elaborato mira quindi a fornire un quadro completo e coerente della tecnologia MEMS applicata ai sensori inerziali.