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Catanzariti, Annalisa
(2023)
Sensori di deformazione ad alta risoluzione : la tecnologia MEMS.
[Laurea], Università di Bologna, Corso di Studio in Ingegneria meccanica [L-DM270] - Forli', Documento ad accesso riservato.
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Abstract
In questo elaborato viene presentata la tecnologia MEMS per la produzione di estensimetri ad alta risoluzione. Dopo un’introduzione riguardante le deformazioni in ambito meccanico, sono esposti il metodo di fabbricazione, il principio di funzionamento e i risultati ottenuti con questi strumenti. Per fornire una panoramica più completa, sono anche trattate altre tipologie di estensimetri: a lamina metallica, piezoelettrici, piezoresistivi e a corda vibrante, al fine di ottenere un confronto di prestazioni e applicazioni e concludere con alcune considerazioni e previsioni economiche.
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